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電気的微小イオン注入
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シングルイオン注入によるサブミクロン半導体の伝導度ゆらぎ抑制に成功
シングルイオン注入法によって、微小半導体デバイスにおける不純物原子個数ゆらぎ による電気伝導度の分散を抑制するすること ... を取り入れた新しい半導体物理的描像 を確立するために、シングルイオン注入法によって不純物原子位置と半導体電気的特性 の ...
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