- 英
- atomic force microscopy
- 関
- 原子間力顕微鏡、原子間力顕微鏡法、原子間力顕微法
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Japanese Journal
- MOVPE法によるSi基板上GaPとSi表面処理の関係
- 高木 達也,宮原 亮,堀江 陽介 [他],高野 泰
- 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 112(175), 17-20, 2012-08-01
- … GaP層を原子間力顕微鏡観察及び透過電子顕微鏡観察した。 …
- NAID 110009626911
- MOVPE法によるSi基板上GaPの成長速度依存性(Siウェハ上結晶成長・評価・デバイス応用,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 高木 達也,華 俊辰,宮原 亮 [他],高野 泰
- 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 112(32), 19-23, 2012-05-10
- … 膜厚100nm程度成長させ、得られたGaP層を原子間力顕微鏡観察及び透過電子顕微鏡観察した770℃でトリメチルガリウムの供給量が最大の時以外層状のGaPが得られた。 …
- NAID 110009569520
- MOVPE法によるSi基板上GaPの成長速度依存性(Siウェハ上結晶成長・評価・デバイス応用,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 高木 達也,華 俊辰,宮原 亮,高野 泰
- 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 112(33), 19-23, 2012-05-10
- … 膜厚100nm程度成長させ、得られたGaP層を原子間力顕微鏡観察及び透過電子顕微鏡観察した770℃でトリメチルガリウムの供給量が最大の時以外層状のGaPが得られた。 …
- NAID 110009569496
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- AFM(原子間力顕微鏡) 著者: 武田 悠二郎、修士課程1年生(2003年度) 1. どんな装置ですか? 何がわかりますか? 先端の尖った針(カンチレバー)を試料表面上で走査して表面の形状を調べるSTM(Scanning Tunneling ...
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- atomic force microscope
- (道具)atomic force microscope、(方法)atomic force microscopy、AFM
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- 原子間力顕微鏡法、原子間力顕微鏡観察、原子間力顕微法
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原子間力顕微鏡、原子間力顕微鏡観察、原子間力顕微鏡法、原子間力顕微法
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