オプトエレクトロニクス

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光電子工学


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和文文献

  • オプトエレクトロニクス・光デバイス (2014年日本光学会の研究動向)
  • 橋本 俊和
  • 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 44(4), 157-160, 2015-04
  • NAID 40020456582
  • 革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築(ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立)
  • 土肥 俊郎,瀬下 清,山崎 努,大坪 正徳,西澤 秀明,村上 幸,市川 大造,中村 由夫,宮下 忠一,川村 佳秀,高木 正孝,柏田 太志,曾田 英雄
  • 日本機械学会論文集 81(824), 14-00618-14-00618, 2015
  • In this study, we propose innovative polishing method for hard-to-process semiconductor substrate such as SiC. Our innovative polishing method mainly consists of 2 technologies. One is unprecedented p …
  • NAID 130005066595
  • 革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築(ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立)
  • 土肥 俊郎,瀬下 清,山崎 努,大坪 正徳,西澤 秀明,村上 幸,市川 大造,中村 由夫,宮下 忠一,川村 佳秀,高木 正孝,柏田 太志,曾田 英雄
  • 日本機械学会論文集 advpub(0), 2015
  • In this study, we propose innovative polishing method for hard-to-process semiconductor substrate such as SiC. Our innovative polishing method mainly consists of 2 technologies. One is unprecedented p …
  • NAID 130004728640

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