電子集束筒

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特許請求の範囲 【請求項1】 筒状部分の端部が端面部分で塞がれたキャップ状金属板の前記端面部分の切り残された両端部分で形成された第1の電子集束部と、前記両端部分を残して切り抜かれた中央部分をその中央が前記筒状部分の ...
【発明の名称】 集束イオンビームと走査型電子顕微鏡との同軸鏡筒を備えた装置並びに像形成及び処理方法 【発明者】 【氏名】ロバート・エル・ゲーラック 【氏名】マーク・ダブリュー・ウトラウト 【氏名】マイク・シャインファイン

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