ペリクル

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出典(authority):フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』「2016/10/19 18:04:51」(JST)

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和文文献

  • Optical Coherence Tomographyによるホワイトニング前後のエナメル質観察
  • 口腔レンサ球菌のアドヘジン
  • P-49 QCMを用いた歯科生体材料へのペリクル成分の吸着特性の解析(器械・技術,一般講演(ポスター発表),第59回日本歯科理工学会学術講演会)

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三井ペリクルは、高い透過率を得るよう耐光性のある膜材料で膜厚設計したフォトマスク用防塵カバーです。フォトマスクをクリーンに保ち、半導体の生産性向上に貢献します。

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