- 英
- far-ultraviolet
- 関
- 遠紫外
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Japanese Journal
- KrFリソグラフィー技術の現状(IT革命に向けたリソグラフィー技術論文<小特集>)
- 中尾 修治,徳井 晶,有本 一郎
- 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス J84-C(12), 1132-1141, 2001-12-01
- … 化・高機能化が継続的に進められてきた.この進歩は回路パターンの微細化によっており, 現在では最小寸法0.10μm以下の時代に入ろうとしている.これまでのデバイス生産における大部分のパターン形成は, 遠紫外線までの波長の光を光源とする光リソグラフィーによりなされてきた.本論文では, 現時点で量的生産に適用されている最先端技術であるKrFエキシマレーザ(波長248nm)を光源とするKrFリソグラフィーについて, …
- NAID 110003181758
- 遠紫外線(Far UV)照射法による水中全有機炭素(TOC)の分解
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- 波長による分類法として、波長 380–200 nm の近紫外線(near UV)、波長 200–10 nm の遠紫外線もしくは真空紫外線(far UV (FUV) もしくは vacuum UV (VUV))、波長 1– 10 nmの極紫外線もしくは極端紫外線(extreme UV,EUV or XUV)に分けられる。 ...
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- 英
- ultra violet, UV, ultraviolet rays, UV rays
- 同
- 化学線 chemical rays
- 関
- ドルノ線、電磁波。紫外光
- 波長が短いほど生物学的作用は強く
- UVA, UVB, UVCの区分分けは資料によってまちまち
特徴
分類1
種類(波長)
|
地上への到達度
|
生物影響
|
UV-A (315~400nm)
|
地表まで到達する。
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UV-Bほど有害ではないが、長期間曝露された場合の健康影響が懸念される。
|
UV-B (280~315nm)
|
ほとんどは成層圏オゾン層などに吸収されるが、一部は地表へ到達する。
|
皮膚や眼に非常に有害である。日焼けを起こしたり、皮膚がんの原因になる。一般に、有害紫外線と呼ばれる。
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UV-C (100~280nm)
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大気や成層圏オゾン層に吸収されて、地表には到達しない。
|
非常に有害である。
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分類2
- UVC(290~320nm)
- UVB(290~320nm)
- UVA(320~400nm)
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- 英
- line、string
- 関
- 裏打ち、系統、弦、紐、ライン
[★]
- 英
- ultraviolet、UV
- 関
- 紫外線、紫外部
[★]
- 英
- far-ultraviolet
- 関
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