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Japanese Journal
- 選択的トレンチフィリングCuめっきによる配線形成プロセス(<特集>電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文)
- 中野 広,鈴木 斉,端場 登志雄,吉田 博史,珍田 聡,赤星 晴夫
- 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス J94-C(11), 380-385, 2011-11-01
- … トレンチフィル配線形成法は基板の配線部分を溝(トレンチ)状に加工した後に,電気めっきによって配線を形成する.しかしながら,従来の電気Cuめっき法では,トレンチ以外の部位全面に厚くめっき膜が析出してしまうために,配線以外のめっき膜を除去する平たん化研磨が必要であった.電気Cuめっき条件について検討した結果,トレンチ部のみへ選択的に電気Cuめっきできることを見出した.本方式での電気Cuめっきを適用する …
- NAID 110008761540
- アルミニウムおよびその酸化物からなる微細配線形成法の開発
- 菊地 竜也,藤田 哲,坂入 正敏
- 表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan 62(9), 451-455, 2011-09-01
- NAID 10029616637
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- 立ち耳形成法 耳の裏側より医療用の糸を使い、ご希望の位置で固定します。 切開をしないので、抜糸や傷跡は残りません。
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- 形成手術、形成法
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- in situ hybridization
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- インサイツハイブリッド形成法、インサイツハイブリッド法、in situハイブリッド法、in situハイブリダイゼーション、インサイツハイブリダイゼーション
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- 切片上ハイブリッド形成法、インサイツハイブリッド法、in situハイブリッド法、in situハイブリダイゼーション、インサイツハイブリダイゼーション
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- 交雑、雑種形成、ハイブリ、ハイブリダイゼーション、ハイブリッド形成、混成、ハイブリダイゼーション法
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